沉积Al2O3的PVD工艺和具有至少一层Al2O3的被涂覆过的切削工具.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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沉积Al2O3的PVD工艺和具有至少一层Al2O3的被涂覆过的切削工具.pdf

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本发明涉及一种被涂覆过的切削工具，所述被涂覆过的切削工具由基材和单层或多层硬质材料涂层构成，所述基材选自硬质合金、金属陶瓷、陶瓷、立方氮化硼(cBN)、多晶金刚石(PCD)、钢或高速钢(HSS)，并且所述硬质材料涂层包含表现出特别高的硬度和约化杨氏模量的至少一层γ‑Al2O3，所述被涂覆过的切削工具的所述γ‑Al2O3层能够使用至少一个Al靶通过反应性磁控溅射方法来得到，其中使用包含氩气(Ar)和氧气(O2)或由氩气(Ar)和氧气(O2)构成的反应气体组合物并且在如下条件下来进行沉积：在至少1P

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111279011 A (43)申请公布日 2020.06.12 (21)申请号 2