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本发明涉及一种用于半导体光刻的投射曝光设备(1),其包括光学校正元件(20)和用于通过电磁加热辐射(44.x)至少部分地辐照校正元件(20)的光学活性区域(22)的构件,其中光学校正元件(20)在光学活性区域(22)外部配备有至少一个电加热元件(25.x)。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114651213 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202080077610.5 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
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