电子探针显微分析课件.pptVIP

2、波谱仪的主要缺点： 采样效率低，分析速率慢。 由于经晶体衍射后，X射线强度损失很大，其检测效率低，所以波谱仪难以在低束流和低激发强度下使用，因此其空间分辨率低且难与高分辨率的电镜配合使用。 现在是31页\一共有81页\编辑于星期五 (2) 能量色散谱仪(简称能谱仪) 波谱仪是用分光晶体将X射线波长分散开来分别加以检测，每一个检测位置只能检测一种波长的X射线。而能谱仪与此不同，它是按X射线光子能量展谱。 现在是32页\一共有81页\编辑于星期五 能谱仪通过锂漂移硅固态检测器(Si(Li)检测器)将所有波长(能量)的X射线光子几乎同时接收进来，每一能量为E的X光子相应地引起n对电子—空穴对，不同的X射线光子能量产生的电子—空穴对数不同。Si(Li)检测器将它们接收后经过积分，再经放大整形后送入多道脉冲高度分析器,然后在荧光屏以脉冲数-脉冲高度曲线显示，这就是X射线能谱曲线。 现在是33页\一共有81页\编辑于星期五 能谱仪结构框图 Si(Li) 探测器 现在是34页\一共有81页\编辑于星期五 (3) 能谱仪的特点 1) 能谱仪所用的Si(Li)探测器尺寸小，可以装在靠近样品的区域。这样，X射线出射角φ大，接收X射线的立体角大，X射线利用率高，可达10000脉冲/s·10-9A。能谱仪在低束流情况下(10-10-10-12A)工作，仍能达到