基于激光双反馈自混合干涉的微位移测量方法和系统.pdfVIP

下载本文档

4
0
约1.21万字
约 10页
2023-05-14 发布于四川
举报
版权申诉

基于激光双反馈自混合干涉的微位移测量方法和系统.pdf

1、本文档共10页，其中可免费阅读9页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种基于激光双反馈自混合干涉的微位移测量方法，在双反馈自混合干涉的基础上，信号处理模块采集到双反馈自混合干涉信号并转变为电压信号，计算机软件计算出该双反馈干涉信号的振幅将其作为基准功率(p1)，信号处理模块采集到因位移物体的微位移变化而产生的双反馈自混合干涉信号并转变为电压信号，计算出此时双反馈自混合干涉信号的振幅将其作为被测信号功率(p2)，根据被测信号功率(p2)受微位移量影响的关系式反推算出微位移量，测量分辨率低至20nm，实现较高精度的微位移测量，达到实现纳米级位移测量要求。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114674230 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202210293305.0 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人广州番禺职业技术学院地址 511