激光退火设备及系统.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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激光退火设备及系统.pdf

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本申请提供了一种激光退火设备及系统，激光退火设备包括：激光装置和光学补偿装置；激光装置用于向光学补偿装置发射激光光束；光学补偿装置包括分束结构和翻转结构；分束结构用于对激光光束进行反射和透射，分别得到第一光束和第二光束，并将第一光束和能量翻转后的第二光束叠加后输出；翻转结构位于分束结构的远离入射光束的一侧，用于对第二光束进行能量翻转。本申请的技术方案可提高激光光束的能量均一性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114695205 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202210314619.4 H01L 21/268 (2006.01)