一种仿真模型确定方法、芯片分类方法和相关设备.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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一种仿真模型确定方法、芯片分类方法和相关设备.pdf

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本发明提供了一种仿真模型确定方法、芯片分类方法和相关设备，其中仿真模型确定方法包括：获取在各工艺角条件下制作的半导体器件的测试数据，半导体器件包括制作有多个芯片的晶圆，测试数据包括芯片的测试数据；根据测试数据与初始仿真模型的仿真数据的相似度，将半导体器件划分为至少两个区域，不同区域的芯片的测试数据与仿真数据的相似度不同；根据不同区域的芯片的测试数据，确定的初始仿真模型的仿真参数调整值，获得与不同区域的芯片分别对应的最佳仿真模型，以基于最佳仿真模型对不同区域的芯片进行仿真，提高仿真模型仿真的准确度

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114676570 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202210301819.6 (22)申请日 2022.03.25 (71)申请人海光信息技术股份有限公司地址 3