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本发明公开一种抗反射层及图案化方法,涉及半导体制造技术领域,以改善由于反射导致的图案轮廓缺陷,实现图案的精确化,从而提高产品良率,并通过实施精细模式提高设备集成度。该抗反射层含有多孔结构。本发明还提供了一种图案化处理方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114678260 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202011551343.9
(22)申请日 2020.12.24
(71)申请人 中国科学院微电子研
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