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具有空腔结构的微圆环谐振器，属于微机电系统领域。解决了现有的微圆环式谐振器由热弹性阻尼带来的限制谐振系统品质因子(Q值)变大问题。本发明包括位于基座上的圆环谐振子、支撑结构、驱动电极和锚点桩，且圆环谐振子的外表面镀有金属导电层；圆环谐振子的内表面通过支撑结构与锚点桩固定连接，且三者共轴；沿圆环谐振子的环向延伸方向设有空腔，且该空腔位于圆环谐振子的环状本体内；多个驱动电极呈环形等间隔的均布在圆环谐振子的外侧，驱动电极用于驱动圆环谐振子工作在固有频率处。本发明主要与微机电系统中的惯性传感器配套使用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114679154 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202210374564.6
(22)申请日 2022.04.11
(71)申请人 哈尔滨工程大学
地址 150001
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