IST Innovative Sensor Technology 数据手册 流量传感器 FS2说明书.pdf

FS2 热质量流量传感器 适用于气体流量及方向测量 优势与特点 ▪ 可测量流量方向 ▪ 极佳长期稳定性 ▪ 简单的信号处理 ▪ 易于校准 ▪ 出色的灵敏度 ▪ 裸传感器可耐温达+450 °C （特定型号） ▪ 稳定的铂金工艺 ▪ 出色的重现性 ▪ 无移动结构 ▪ 支持用户订制 外形尺寸1) 1) 实际尺寸参见机械尺寸参数 技术参数 尺寸（L x W x H / H2 in mm）：* 5.0 x 3.5 x 0.20 / 0.60 测量范围： 0 m/s to 1 m/s (半桥模式) 0 ml/min to 50 ml/min(半桥模式), 管内径为 1 mm 0 m/s to 100 m/s (CTA 模式) 0 l/min to 5 l/min (CTA 模式), 管内径为 1 mm 最小工作范围： 0 ml/min to 2.5 ml/min 响应灵敏度： 0.001 m/s (50 μl/min) 测量精度： 真实值2 %(取决于电路与校准) 响应时间 t : 0.5 s 63 工作温度范围:* -20 °C to +150 °C 温度敏感度: 0.1 %/K (取决于电路) 连接方式:* 漆包铜线, Ø 0.2 mm 加热器:* RH (25 °C) = 34 Ω ±10 % 测量器件:* R (25 °C) = 425 Ω ±10 % s_i 参考器件:* RR (25 °C) = 710 Ω ±10 % 电压范围(标称值):* 2 V to 5 V (取决于流速) *可接受客户定制 DFFS2_CN2.3.1 | Flow | Thermal Mass Flow Sensor FS2 1/2 管脚定义 1 2 3 4 5 6 GND 温度传感器1 加热