1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种用于氮化镓功放芯片的玻璃微流道散热器制备方法.pdfVIP

  • 7
  • 0
  • 约1万字
  • 约 12页
  • 2023-05-14 发布于四川
  • 举报

一种用于氮化镓功放芯片的玻璃微流道散热器制备方法.pdf

    本发明公开了一种用于氮化镓功放芯片的玻璃微流道散热器制备方法，该方法包括：准备至少3片可光刻玻璃圆片，分别为：A玻璃圆片、B玻璃圆片和C玻璃圆片；在A玻璃圆片上刻蚀TGV通孔，在B玻璃圆片上刻蚀微流道结构和B进出液口且两者之间通过分流网络连通，在C玻璃圆片上刻蚀C进出液口；对A玻璃圆片作实心电镀工艺，以得到TGV实心互连结构；分别在A玻璃圆片的下表面、B玻璃圆片的两侧表面和C玻璃圆片的上表面设置连接膜层；将A玻璃圆片、B玻璃圆片和C玻璃圆片依次键合形成复合圆片；复合圆片通过分片工艺获得单个微流道

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112340694 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011208598.5 H01L 23/473 (2006.01) (22)申请日

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >