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- 2023-05-14 发布于四川
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本发明公开了一种深紫外LED外延片及其制备方法、深紫外LED,所述深紫外LED外延片包括衬底及依次层叠于所述衬底上的缓冲层、非掺杂AlGaN层、N型AlGaN层、多量子阱层、电子阻挡层、P型AlGaN层和P型接触层;所述P型接触层包括依次层叠于所述P型AlGaN层上的Mg掺杂BaAlbGa1‑a‑bN层、BxAlyGa1‑x‑yN纳米团簇层/Mg掺杂BxAlyGa1‑x‑yN层超晶格层。本发明提供的深紫外LED外延片能够提高深紫外LED外延片的光提取效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115863503 A
(43)申请公布日 2023.03.28
(21)申请号 202310173554.0
(22)申请日 2023.02.28
(71)申请人 江西兆驰半导体有限公司
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