脆性材料基板的加工方法及分割方法.pdfVIP

脆性材料基板的加工方法及分割方法.pdf

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本发明提供一种在从玻璃基板等脆性材料基板中切出被闭合曲线的刻划线包围的异形制品时能够抑制毛刺的产生的加工方法。通过如下刻划工序进行加工:将基板的内侧位置作为起始点按压固定刀的刻划工具,使其以用沟槽线描绘闭合曲线的方式环绕移动来加工刻划线,进而与其连续地在接点位置描绘曲率半径为0.5mm以下的转向部K进行转向后,加工到达基板端缘的分离用刻划线,使得在沟槽线的槽中诱发在厚度方向上行进的裂纹。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114670343 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202111590663.X (22)申请日 2021.12.23 (30)优先权数据 2020-214458 202

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