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高分辨垂直光学相位调制阵列.pdfVIP

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  • 2023-05-14 发布于四川
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高分辨垂直光学相位调制阵列.pdf

    本发明涉及光电芯片技术领域，具体提供一种高分辨垂直光学相位调制阵列。调制阵列包括：衬底、光波导调制器阵列，光波导调制器阵列位于衬底上；光波导调制器阵列包括多组并列排布的光波导调制器，每组光波导调制器在垂直方向的结构从下至上依次为N型掺杂导电区、N型掺杂波导、无掺杂电容层、P型掺杂波导、上电极；所述N型掺杂导电区包括下电极，下电极位于N型掺杂导电区上，每组光波导调制器在水平方向共用所述下电极；所述上电极为P型区电极；所述下电极为N型区电极；调制过程中通过对各个上电极施加电压信号以实现调制。优点在于

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116107103 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202310389771.3 (22)申请日 2023.04.13 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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