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基于密集波导阵列的光子器件及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-14 发布于四川
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基于密集波导阵列的光子器件及其制备方法.pdf

    本发明涉及光电子器件技术领域，具体提供一种基于密集波导阵列的光子器件及其制备方法。器件包括衬底、密集波导阵列；密集波导阵列包括波导输入端口阵列、密集阵列波导调制区、波导输出端口阵列；波导输入端口阵列包括一组多路独立的互相之间不存在扰动的波导输入端口，波导输出端口阵列包括一组解耦后互相之间不存在扰动的波导输出端口；所述密集阵列波导调制区包括上电极、下电极、无掺杂电容、P型掺杂波导，在垂直方向的结构从下至上依次为下电极、无掺杂电容区、P型掺杂波导区、上电极；所述波导输入端口、单模光波导与波导输出端口

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116107023 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202310389775.1 G02B 6/134 (2006.01)

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