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本发明提供一种用于芯片制造中抽检装置及其抽检方法。所述用于芯片制造中抽检装置，包括：输送机构和抽检箱，所述抽检箱的表面活动安装于所述输送机构的侧面；驱动电机，所述驱动电机的底部安装于所述抽检箱的内表面，所述驱动电机的输出端安装有驱动主轴。本发明提供的用于芯片制造中抽检装置，通过驱动电机方便带动摇臂进行旋转调节，摇臂旋转时配合辅助推板能够将输送中的芯片进行推送至抽检箱的正上方，芯片落在缓冲垫板的正上方进行集中收集，并且倾斜分布的缓冲垫板能够将收集的芯片自适应的集中收集，更方便对芯片的抽检使用。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114678311 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202210235374.6
(22)申请日 2022.03.11
(71)申请人 苏州格巨电子科技有限公司
地址 2
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