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- 2023-05-14 发布于四川
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本发明公开了一种宽波段快响应自驱动型光电探测器及其制备方法，包括衬底、二维过渡金属碲化物和两个金属电极；二维过渡金属碲化物位于衬底上方，两个金属电极位于二维过渡金属碲化物上方，两个金属电极位于二维过渡金属碲化物的顶面轴心线两侧，且电极的功函数非对称设置。制备方法为S1：提高衬底表面亲水性；S2：在衬底表面通过化学气相沉积法得到二维过渡金属碲化物；S3：在二维过渡金属碲化物表面蒸镀两个非对称设置的金属电极。提高二维过渡金属碲化物的制备效率，能够在衬底较大范围内获得连续均匀的二维过渡金属碲化物。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116110997 A
(43)申请公布日 2023.05.12
(21)申请号 202310067629.7
(22)申请日 2023.01.29
(71)申请人 西安交通大学
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