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一种单基片上低损耗四级对称光学波导环.pdfVIP

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  • 2023-05-14 发布于四川
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一种单基片上低损耗四级对称光学波导环.pdf

    本发明公开了一种单基片上低损耗四级对称光学波导环，包括si基层和设置于所述si基层上的多层波导层，每层所述波导层外均设置有SiO2包层，所述波导层的折射率大于所述SiO2包层的折射率；每层所述波导层上均设置有多圈波导环，相邻圈次之间经层内波导有限区域平滑过渡；相邻两层所述波导层经层叠锥形结构垂直耦合。本发明采用上述单基片上低损耗四级对称光学波导环，结合多层波导垂直层间耦合方式与层内波导有限区域平滑过渡结构，实现了波导环长度大于5m，整体传输损耗低于6dB。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115857086 A (43)申请公布日 2023.03.28 (21)申请号 202310186554.4 (22)申请日 2023.03.02 (71)申请人 北京航空航天大学 地址 10019

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