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本发明公开了一种基于厚Si3N4材料的低插入损耗、大带宽紧凑型多模干涉耦合器，包括基于厚Si3N4材料的单条形锥形渐变输入波导、多模干涉区域、锥形渐变输出波导。本发明可实现入射光由一端口分配到两个输出波导，形成一分二功分器或二合一耦合器，适用于微波光子滤波与整形、双光梳技术、光学相干断层扫描技术、光通讯收发模块、光计算等氮化硅集成光路光学器件系统中，具有尺寸紧凑、耦合效率高、大带宽、低插损等优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114675373 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202210319254.4
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 东南大学
地址 211102
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用户编号：7160061112000031
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