一种基于喷涂-化学气相沉积法制备纳米结构气敏薄膜的方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种基于喷涂-化学气相沉积法制备纳米结构气敏薄膜的方法.pdf

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本发明公开了一种基于喷涂‑化学气相沉积法制备纳米结构气敏薄膜的方法，通过碱性水解法制备粒度均匀且结构稳定溶液前驱体为液料，通过蠕动泵输送到等离子焰流中，最终以蒸汽的形式在传感器基板表面冷凝，形成具有纳米结构的气敏薄膜，在室温条件下对特定挥发性有机物VOC分子表现出高的灵敏度、快速响应恢复、优异选择性等。本发明制得的气敏薄膜表面化学状态可控、比表面积高、室温气敏性能优异、成本低。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114703463 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210302572.X (22)申请日 2022.03.24 (71)申请人扬州大学地址 225009 江苏