埋入式位线结构、埋入式位线结构的制备方法、及存储器.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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埋入式位线结构、埋入式位线结构的制备方法、及存储器.pdf

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本公开实施例公开提供了一种埋入式位线结构、埋入式位线结构的制备方法、及存储器。所述埋入式位线结构，包括：基底，具有位线沟槽；位线金属，填充于所述位线沟槽内；位线接触，填充于所述位线沟槽内，并位于所述位线金属上，所述位线接触与所述位线金属之间具有弧形接触面。本公开实施例通过将位线接触与位线金属的接触面设置为弧形接触面，增大了位线接触与位线金属的接触面积，增强位线结构的导电性，以及可以避免位线结构的坍塌和损坏的问题，以适应位线结构的微缩导致的位线结构失效。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116113233 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202111318131.0 (22)申请日 2021.11.09 (71)申请人长鑫存储技术有限公司地址 23