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差分式悬架单层石墨烯纳米孔传感器及其制备方法和用途.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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差分式悬架单层石墨烯纳米孔传感器及其制备方法和用途.pdf

    本发明公开了差分式悬架单层石墨烯纳米孔传感器及其制备方法和用途。该制备方法包括：在硅基底层上形成SiO2层，对硅基底层远离SiO2层的一侧进行刻蚀形成沟槽，位于沟槽区域的SiO2层悬空；在SiO2层上形成石墨烯条带单元，该单元包括两条间隔分布且同时横跨沟槽的单层石墨烯条带；沉积金属电极层，在沟槽一侧形成的电极层同时覆盖两条单层石墨烯条带，在沟槽另一侧形成的电极层包括间隔分布且各覆盖一条单层石墨烯条带的两部分；利用HF溶液刻蚀掉沟槽区域裸露出的二氧化硅层使单层石墨烯条带悬空；利用离子束在悬空的两条

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114715840 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210372933.8 (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人 清华大学 地址 100084 北京

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