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- 2023-05-15 发布于四川
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本发明公开一种用于微观形貌观测的阵列式定位方法及装置，由探测设备接触样品获取前置定位信息，通过计算机辅助系统搭建坐标系，通过扫描电子显微镜进行前置观测并记录前置观测的坐标区域；通过计算机辅助系统对比定位信息的数据差，通过探测设备推动样品移动，使移动后的位置与前置定位信息的位置对应；装置包括基座，基座上端设有放置腔，放置腔四周设有导轨，导轨中设有导块，导块上安装探测设备，探测设备在基座上呈对称象限分布，以期望改善扫描电子显微镜的成像范围广，且成像定位具有一定的延迟和滞后性，在观测过程中无法有效的确
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114720502 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210374618.9
(22)申请日 2022.04.11
(71)申请人 重庆大学
地址 400044 重
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