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本公开涉及保持用于气相沉积过程的前体的前体胶囊。前体胶囊包括蒸汽可渗透的外壳,外壳配置成限定前体空间,并允许蒸汽形式的前体在蒸发条件下离开前体胶囊。本公开还涉及包含根据本公开的胶囊的前体容器、气相沉积设备和方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114717541 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202111549172.0
(22)申请日 2021.12.17
(30)优先权数据
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