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基板输送装置和基板处理系统.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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基板输送装置和基板处理系统.pdf

    提供一种输送基板的基板输送装置。本公开的一技术方案的基板输送装置包括：平面马达，其设于输送室，并具有排列着的线圈；输送单元，其在所述平面马达上移动；以及控制部，其控制所述线圈的通电，所述输送单元包括：两个基座，其具有排列着的磁体，并在所述平面马达上移动；基板支承构件，其用于支承基板；以及连杆机构，其将所述基板支承构件和两个所述基座连结。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730727 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080080931.0 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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