氮化物层的制造方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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氮化物层的制造方法.pdf

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本发明涉及一种用于获得至少一个氮化物层的方法，所述方法包括以下连续步骤：提供叠层，包括从所述叠层的衬底延伸的多个焊盘，每个焊盘至少包括：结晶部段和具有顶部面积的顶部；从至少一组所述焊盘中的至少一些的所述顶部外延生长的微晶，并继续所述微晶的外延生长直到由所述焊盘承载的所述微晶的聚结；所述多个焊盘包括称为保留焊盘的至少一个焊盘和称为分离焊盘的多个其他焊盘。所述焊盘构造成一旦形成所述氮化物层，则所述至少一个保留焊盘保留所述氮化物层，并且所述分离焊盘中的某些可以被断裂。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114725249 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202111583740.9 H01L 21/335 (2006.01)