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具有细小间距的器件对准、测试装置及器件的对准方法.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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具有细小间距的器件对准、测试装置及器件的对准方法.pdf

    本发明的结构包括：基座板（40），在器件（30）的安置地点分别形成真空孔（41），器件（30）被装载的状态下，随着真空压的施加，对装载的器件（30）以可微微移动的真空压吸引；夹具板（20），固定设置于所述基座板（40）的上部，器件（30）被装载的开口部（21）数量与装载于基座板（40）的器件（30）的数量同样地形成；基座板位置调节装置（50），使装载于基座板（40）的器件（30）的位置沿着X‑Y‑θ方向微微移动，使其位于所述夹具板（20）上形成的开口部（21）。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114729963 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080083439.9 (74)专利代理机构 北京汇泽知识产权代理有限

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