多晶硅歧化反应塔内的催化剂的处理方法及处理系统.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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多晶硅歧化反应塔内的催化剂的处理方法及处理系统.pdf

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本发明公开了一种多晶硅歧化反应塔内的催化剂的处理方法及处理系统，该方法包括以下步骤：1)向多晶硅歧化反应塔内通入四氯化硅，四氯化硅与多晶硅歧化反应塔内的二氯二氢硅反应生成三氯氢硅；2)再通入四氯化硅进行循环置换，而后将通入到多晶硅歧化反应塔中的四氯化硅撤空；3)向多晶硅歧化反应塔内通入氮气进行置换，直到多晶硅歧化反应塔内的氢气浓度值低于第一预设氢气浓度值停止置换；4)向多晶硅歧化反应塔内通入空气，空气中的氧气与多晶硅歧化反应塔内的三氯氢硅反应生成二氧化硅、四氯化硅、氯化氢。该处理方法低成本、安全

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116020347 A (43)申请公布日 2023.04.28 (21)申请号 202111255509.7 C01B 33/107 (2006.01)