感光性树脂、感光性树脂组合物、固化物、图案形成方法以及集成电路器件.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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感光性树脂、感光性树脂组合物、固化物、图案形成方法以及集成电路器件.pdf

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本申请涉及一种感光性树脂、感光性树脂组合物、固化物、图案形成方法以及集成电路器件。本申请的感光性树脂至少在主链中包括以下通式(1)所示的源自四羧酸二酐的结构单元和以下通式(2)所示的源自二胺的结构单元：通式(1)中，X表示四价有机基团；通式(2)中，Y1表示具有1个以上的源自偶氮苯化合物的二价有机基团。本申请的感光性树脂组合物包含该感光性树脂。本申请的固化物由本申请的感光性树脂组合物形成。本申请的图案形成方法使用本申请的感光性树脂组合物。本申请的集成电路器件配置有本申请的固化物的层。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114721223 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202011533638.3 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人华为技术有限公司地址 51812