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一种等离子密度可调的离子源装置.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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一种等离子密度可调的离子源装置.pdf

    本发明公开了一种等离子密度可调的离子源装置，包括离子源腔、放电腔、螺旋线圈、平面线圈和射频电源；离子源腔和放电腔从外至内依次同轴设置；放电腔的头部设置有进气面板；螺旋线圈同轴套设在放电腔的筒身外周，两者间具有径向间隙R；平面线圈同轴安装在进气面板的外侧上游，两者间具有轴向间隙L；螺旋线圈和平面线圈的一端均依次与功率分配器、射频匹配器和射频电源电连接，另一端均接地；功率分配器能对进入螺旋线圈和平面线圈的射频功率进行分配，通过对分配率r进行调节，从而实现放电腔内等离子密度分布的调节。本发明同时采用螺

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114724911 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110002081.9 (22)申请日 2021.01.04 (71)申请人 江苏鲁汶仪器有限公司 地址 221

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