低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法.pdfVIP

低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法.pdf

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本发明提供一种低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法。本发明的课题在于缩短低温泵的冷却时间。低温泵(10)具备:一级目标温度选择部(112),其具备使一级低温板的温度及二级低温板的温度保持在超低温区域的通常模式用的通常目标温度和使一级低温板及二级低温板从室温冷却至超低温区域的降温模式用的降温目标温度,并且降温目标温度低于通常目标温度,一级目标温度选择部(112)在当前运行模式为通常模式时选择通常目标温度作为一级目标温度,在当前运行模式为降温模式时选择所述降温目标温度并将其至少暂时作为一级目标温度

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114738234 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210421547.3 (22)申请日 2017.03.13 (30)优先权数据

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