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本发明公开了一种半导体芯片生产用浸蚀设备,包括容纳箱、浸蚀箱、支撑柱、顶部安装板、挤压防锈式高度调节组件和收缩展开式磁力驱动组件。本发明属于半导体芯片生产技术领域,收卷防腐绳可以将半导体芯片从浸蚀液中取出,同时收卷防腐绳在经过吸收棉时,收卷防腐绳上面粘附的浸蚀液可以被吸收棉吸收走,防止浸蚀液长时间粘附在收卷防腐绳上,同时吸收棉内的浸蚀液,可以利用液体的渗流效应通过渗流毛细孔流入到收集箱内,极大增加了吸收棉的吸水性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116031183 A
(43)申请公布日 2023.04.28
(21)申请号 202310326219.X
(22)申请日 2023.03.30
(71)申请人 芯洲科技(北京)股份有限公司
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