一种铌靶材及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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一种铌靶材及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种铌靶材及其制备方法，铌铸锭依次经过一次锻造、一次酸洗、一次真空退火、二次锻造、二次酸洗、二次真空退火、错位轧制、三次酸洗和三次真空退火，得到铌靶材；本发明所述制备方法将两次锻造和错位轧制相结合，两次锻造破坏靶材内部的晶粒结构，使得晶粒尺寸变小，错位轧制使得靶材内部的晶粒更均匀，再结合三次热处理过程，制得了晶粒尺寸小、晶粒取向均匀的铌靶材；且工艺操作简便，制备成本较低，适用性广。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115125461 A (43)申请公布日 2022.09.30 (21)申请号 202210161788.9 (22)申请日 2022.02.22 (71)申请人宁波江丰电子材料股