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本发明属于感光树脂组合物领域,公开了一种正型感光性树脂组合物及固化图案的制备方法。正型感光树脂组合物,包括所述第一组分,为含酚羟基的碱可溶性树脂;所述第二组分,为含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂,所述第三组分,为重氮萘醌酯类的萘醌酯类光敏化合物,所述第四组分,为热致产酸剂。固化图案的制备方法,将上述的正型感光树脂组合物涂布在基板上,经过烘烤、曝光、显影、固化,得到固化图案。本发明的正型感光树脂组合物添加有含丙烯酸类结构的碱可溶性树脂与热产酸剂的组合,配合重氮萘醌磺酸酯化物,使制备的正型感光树脂组合物
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116027636 A
(43)申请公布日 2023.04.28
(21)申请号 202211701651.4 G03F 7/016 (2006.01)
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