一种用于铜微结构加工的激光电化学加工方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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一种用于铜微结构加工的激光电化学加工方法.pdf

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本发明公开了一种铜微结构激光电化学加工方法，与LIGA技术电镀增材加工相比，规避了电镀材料质地稀松的缺点，且加工周期比LIGA电镀加工短，加工后的工件力学性能好。本发明采用的是激光电化学复合加工，属于无应力加工，使用高精度三轴移动平台，将激光电化学加工装置作为一种特殊的“刀具”，通过平台移动，激光功率与电解液流速、加工电压耦合，实现高精度、高表面质量铜微结构加工。在保留了铣削加工效率高，精度高的优点的同时，规避了铣削加工引起的金属塑性流动，槽口边缘无毛刺和隆起。本发明将激光束从管电极阴极上方引入

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116021101 A (43)申请公布日 2023.04.28 (21)申请号 202310144453.0 (22)申请日 2023.02.21 (71)申请人大连理工大学地址 116024