一种晶圆贴膜机.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种晶圆贴膜机.pdf

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本发明公开了一种晶圆贴膜机；包括工作台，所述工作台的上部固定安装有防护框，所述工作台的底部固定安装有推料机构，所述工作台的上部固定安装有第一转运机构，所述工作台上固定安装有移动机构，所述工作台上固定安装有贴膜机构，所述防护框的下部设有第二转运机构；本发明通过推料机构实现对晶圆进行推送，通过第一转运机构实现对晶圆进行吸附转运，有效的实现对晶圆进行输送，通过移动机构将晶圆输送到贴膜机构下部，然后实现对晶圆进行贴膜处理，并且通过压辊实现对膜进行贴合处理，提高膜的附合能力，在进行贴膜之后，通过第二转运机

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114724983 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210246104.5 (22)申请日 2022.03.14 (71)申请人苏州度芯电子有限公司地址 215