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- 2023-05-15 发布于四川
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本公开涉及发光显示技术领域的微型发光二极管、显示屏及制备方法，该微型发光二极管包括：保护层，设置于改善层背离第二半导体层的一侧；保护层至少包括绝缘保护层。由此，通过在改善层上设置绝缘保护层，绝缘保护层作为硬件掩膜层，可隔离等离子和化学试剂，避免改善层在后续工艺中遭到损伤或破坏；绝缘保护层作为蚀刻阻挡层，使后续膜层的蚀刻深度停留在绝缘保护层，形成一个平稳的蚀刻区间，保证了蚀刻深度的均匀性和精准性；增设保护层后，器件得到保护，工艺窗口更大，从而提升了制造良率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114725268 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210382288.8
(22)申请日 2022.04.13
(71)申请人 季华实验室
地址 528200
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