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转子和多级干式真空泵.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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转子和多级干式真空泵.pdf

    用于多级干式真空泵(1)的转子(7)，所述真空泵(1)包括两个轴(5、6)，这些轴配置成在至少两个泵送级(la‑1f)中沿着相反方向以同步方式转动，以驱动入口(3)和出口(4)之间的待泵送气体，所述转子(7)包括：配置成接合在所述真空泵(1)的一个轴(5、6)上的毂部(9)，以及沿着所述毂部(9)布置的至少一个第一转子元件(8a)和一个第二转子元件(8b)，每个转子元件(8a、8b)在相应的泵送级(la‑1f)中延伸，并且配置成和所述真空泵(1)的另一转子(7)共轭的相应转子元件(8a、8b)配

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114729642 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080081930.8 (74)专利代理机构 北京市中咨律师事务所

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