薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器.pdf

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本申请提供了一种薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器，该薄膜体声波谐振器包括：基板和压电振荡结构；压电振荡结构包括依次形成于基板的顶表面之上的底部电极、压电薄膜层和顶部电极，底部电极被压电薄膜层覆盖，压电薄膜层开设有通孔，底部电极通过通孔内的导体引至压电薄膜层远离基板的顶表面；基板的顶表面设置有凹槽，凹槽内填充有导电块，导电块与底部电极接触，其中，通孔向基板的正投影位于凹槽所在的区域范围内，并且底部电极至少部分覆盖凹槽。本申请实施例提供的薄膜体声波谐振器，可以具有更高的可靠性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114731144 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 201980102477.1 (74)专利代理机构北京润泽恒知识产权代理有