原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开提供了一种基于声光调制器的过焦扫描显微系统及测量方法。该扫描显微系统包括：光源模块、分光模块、样品台、采集模块和测量模块。光源模块包括声光调制器，用于产生一系列波长可调的单色准直照明光束；分光模块用于将所述单色准直照明光束分为第一照明光束和第二照明光束；样品台用于固定待测样品并实现待测样品的显微对焦；采集模块用于采集光束从正面和背面照射至所述待测样品后形成的显微图像；测量模块，用于测量所述第一照明光束的波长值，并传送给外部上位机，由外部上位机反馈调控所述光源模块中声光调制器的控制参数，使所
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116107074 A
(43)申请公布日 2023.05.12
(21)申请号 202111327686.1
(22)申请日 2021.11.10
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 1
文档评论（0）