一种晶圆存储库及转运系统.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种晶圆存储库及转运系统.pdf

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本发明提供一种晶圆存储库及转运系统，存储库包括：两组升降机构；设置于两组升降机构之间的若干条轨道，若干条轨道从上至下依次排列，若干条轨道的两端分别与两组升降机构之间相连接，若干条轨道上均设置有存取机构；设置于轨道两侧的存储架，两组存储架上均设置有若干层存储工位，存储工位用于存放晶圆，若干条轨道与若干层存储工位一一对应。通过在存储架的两侧均设置升降机构对晶圆进行转运，保证对晶圆的转运效率，设置有与若干层存储工位一一对应的轨道，通过在轨道上设置用于存取晶圆的存取机构，保证对晶圆的存取效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114772121 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210325954.4 (22)申请日 2022.03.30 (71)申请人弥费实业（上海）有限公司地址 2