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根据一个实施例的基板处理装置,可包括:腔室部,其在内部具有处理空间,并包括腔室倾斜面,腔室倾斜面形成有开口部;门部,其包括与腔室倾斜面相对应的门倾斜面,并可与腔室部相结合;以及门驱动部,其对门部进行驱动,以便使得处理空间开闭。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114762096 A
(43)申请公布日 2022.07.15
(21)申请号 202080083228.5 (74)专利代理机构 北京冠和权律师事务所
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