一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备.pdfVIP

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2023-05-16 发布于北京
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一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备.pdf

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本发明实施例提供了一种半导体工艺设备中动画数据处理的方法、装置及设备，所述方法包括：获取所述半导体设备对应的配置文件；根据所述配置文件，显示所述半导体设备中各个部件的分布视图；响应于对目标部件的移动操作，在所述分布视图中显示所述目标部件的移动过程，并确定移动后的目标部件的当前位置信息；根据所述当前位置信息，生成动画数据。通过本发明实施例，实现了对针对半导体设备的软件动画单元开发的优化，既通过配置文件的形式来生成软件，满足不同的设备调试需求，提升了对不同设备的适用性，且能够让用户直观地查看到各个部

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114758038 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210333610.8 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人西安北方华创微电子装备有限公司地址