可变热导率的控温组件、方法、系统及等离子体处理装置.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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可变热导率的控温组件、方法、系统及等离子体处理装置.pdf

本发明提供一种可变热导率的控温组件，用于等离子体处理装置，其设置于第一组件和第二组件之间，所述第一组件和第二组件在等离子处理装置工作时具有温度差，所述控温组件用于调节所述第一组件和所述第二组件之间的热传导，包括：气密腔体，其包括第一侧和与第一侧正对的第二侧，所述第一侧与所述第一组件相对，所述第二侧与所述第二组件相对；支撑骨架，设置于所述气密腔体内，支撑在所述第一侧和所述第二侧之间；所述气密腔体内用于通入或抽出导热流体，以调节所述控温组件的热导率。相应的，还提供一种控温方法、系统及等离子体处理装置

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116031127 A (43)申请公布日 2023.04.28 (21)申请号 202111241180.9 (22)申请日 2021.10.25 (71)申请人中微半导体设备（上海）股份有限公

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