承托装置和等离子体增强化学气相沉积设备.pdfVIP

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  • 2023-05-16 发布于四川
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承托装置和等离子体增强化学气相沉积设备.pdf

本申请实施例提供一种承托装置,由于任意两块托盘沿托盘厚度方向相互错开,骨架上的多块托盘大致沿平面分布。当承托装置位于相邻两块电极板之间,相邻两块电极板分别位于托盘沿托盘厚度方向的两侧,骨架上的多块托盘在相邻两块电极板之间大致沿平面分布,相当于将现有技术中的相邻两块电极板之间的整块托盘分割成了骨架和设置在骨架上的多块相对较小的托盘。本申请实施例的单块托盘的面积较小,提高了托盘的抗变形能力,缓解甚至消除托盘在搬运过程中的变形。骨架上的多块托盘的总面积仍然足够大,能够确保单台设备的产能。可以通过对骨架

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114763607 A (43)申请公布日 2022.07.19 (21)申请号 202110050701.6 (22)申请日 2021.01.14 (71)申请人 营口金辰机械股份有限公司 地址 1

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