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- 2023-05-16 发布于四川
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本发明公开了一种超纯树脂材料痕量金属杂质的分析方法，步骤包含以下几步：(1)层流罩中超纯树脂材料取样；(2)标准贮存溶液配制混合元素标准溶液；(3)配制标准系列工作溶液；(4)制备样品溶液，并进行数据测定；(5)数据分析。本发明申请通过特定的灰化消解温度、灰化升温速率和特定配比溶解酸液的配合，有效保留了超纯树脂材料中的痕量金属，具有良好的超纯树脂材料痕量金属杂质的检测效果，具有优异的检测准确度和精密度，适宜在分析检测域推广，具有广阔的发展前景。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114764085 A
(43)申请公布日 2022.07.19
(21)申请号 202110601975.X
(22)申请日 2021.05.31
(71)申请人 上海赛夫特半导体材料有限公司
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