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本发明公开了一种干刻机台下电极，包括下电极基体、钛棒，以及设置在下电极基体与钛棒之间的陶瓷棒；钛棒的端部与钨层接触；在钛棒与介质层接触的一端，电极基体与陶瓷棒相接触的端部均设置倒角。本发明还公开了该下电极的制造工艺方法。采用上述技术方案，能够有效避免直流电极柱镶嵌时形成间隙等缺陷，保证后续绝缘层良好结合，耐击穿电压＞6000V以上，可有效满足高世代和高制程面板刻蚀设备的需求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114743857 A
(43)申请公布日 2022.07.12
(21)申请号 202210548211.3
(22)申请日 2022.05.18
(71)申请人 芜湖通潮精密机械股份有限公司
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