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- 2023-05-16 发布于四川
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本发明公开了一种环形微波等离子体谐振腔，涉及微波等离子体谐振腔领域，包括：谐振腔壳体，其内设有一腔体；第一截止波导，其固定在谐振腔壳体的一端，第一截止波导包括一收容于腔体内的筒体，筒体与谐振腔壳体形成一环形空腔，且筒体上设有多条狭缝；第二截止波导，其固定在谐振腔壳体的另一端，第二截止波导至少部分伸入腔体内以与筒体相连，并与筒体连通形成一用于收容石英反应管的安装孔。本发明中的环形微波等离子体谐振腔能使负载反射系数S11维持在较低的水平，并能够提高微波能量的耦合率，以获得高密度的等离子体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111542166 A
(43)申请公布日
2020.08.14
(21)申请号 20201
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