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一种全自动晶粒挑选机,包括机架、传送机构和筛选机构,所述传送机构和筛选机构分别设置在所述机架上,所述筛选机构设置在所述传送机构的顶部,与所述传送机构的传送方向相垂直;所述传送机构包括第一驱动机构、传送带和若干惰轮;本发明通过筛选机构实现晶圆上带有墨点晶粒的挑选;当带墨点的晶圆移动至与电磁板中心线重合的位置时,第二驱动机构启动,将电磁板移动至带墨点的晶圆的正上方,电磁板通电,产生磁场,将混有磁粉墨点的晶圆从晶圆上吸取下来,使其脱离晶圆。丝杆电机反转,将电磁板从晶圆的正上方移开,回到起始点,此时,电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107899744 A
(43)申请公布日
2018.04.13
(21)申请号 20171
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