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- 2023-05-16 发布于四川
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本发明提供一种氟化锂改性的钛酸钡基介质薄膜及其制备方法，属于电子材料与元器件领域。该介质薄膜化学组成的化学通式为(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF，其中0.005≤x≤0.02，0.0025≤y≤0.03，y为质量分数，Re为La、Ce、Pr中的一种或两种元素。采用溶胶凝胶法制备，分别配制Ba1‑xRexTiO3和LiF前驱体溶液；通过分别旋涂、干燥、热解、退火、扩散，最终形成(1‑y)Ba1‑xRexTiO3‑yLiF固溶体。本发明通过掺杂，并在制备时调节退火温度、退火时间控制氟的挥
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114560693 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210326578.0
(22)申请日 2022.03.30
(71)申请人 南京卡巴卡电子科技
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