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一种具有水汽分离装置的半导体废气处理设备及处理方法.pdfVIP

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  • 2023-05-16 发布于四川
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一种具有水汽分离装置的半导体废气处理设备及处理方法.pdf

    本发明提供一种具有水汽分离装置的半导体废气处理设备，包括放置在放置架上的氧化反应罐、废液聚集箱和雾化罐，所述氧化反应罐上设有废气进气口和氧气进气口，所述氧化反应罐与废液聚集箱、废液聚集箱与雾化罐均通过废气出气管连接，且连接处均设有密封圈，避免废气泄露；所述雾化罐上设有出气口，且所述雾化罐通过进水管与水箱连接；所述废液聚集箱设有出水口，所述出水口上安装有手动阀，手动阀正下方置有接水桶。还包括水汽分离装置和液面检测装置，能够分离废气中携带的无法进行氧化反应的废水。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114345036 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202210148791.7 (22)申请日 2022.02.18 (71)申请人 崔汉博 地址 201

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